10：机台常用传感器与执行器（EAP现场必认）

10机台常用传感器与执行器EAP现场必认一、本课学习目标认识机台常用传感器知道安装位置与检测对象分清执行器功能及与PLC、EAP的对应关系明确机台状态对应的传感器来源初步判断机台异常是传感器问题还是执行器问题二、传感器与执行器基础概念1. 传感器Sensor作用感知机台状态 → 转换为电信号 → 传给PLC对应信号DI / AI通俗理解机台的五官负责“感知”2. 执行器Actuator作用接收PLC信号 → 执行机械动作对应信号DO / AO通俗理解机台的手脚负责“动作”3. 整机控制流程传感器 → DI/AI 输入 → PLC逻辑判断 → DO/AO 输出 → 执行器 → 机台动作三、常见数字传感器对应 DI 信号1. 光电传感器用途检测有无晶圆、有无FOUP、物体遮挡位置Load Port、机械手、传输轨道信号DI有/无2. 接近开关用途检测金属到位、机械手原点、安全门关合位置机械手、安全门、腔门信号DI到位/未到位3. 行程/微动开关用途检测门完全关闭、机械限位位置安全门、腔室门、升降机构信号DI触发/未触发4. 真空压力开关用途检测真空是否达到设定阈值位置真空管路、晶圆吸附部位信号DI真空OK/未OK5. 安全光栅用途安全防护闯入即停机位置机台开口、机械手区域信号DI安全/闯入四、常见模拟传感器对应 AI 信号1. 真空计/压力传感器测量真空度、气体压力信号AI连续数值EAP用途上传FDC、监控工艺压力2. 温度传感器PT100、热电偶测量腔温、水温、气体温度信号AIEAP用途越限报警监控3. 流量传感器测量工艺气体流量信号AIEAP用途流量异常判断4. 液位传感器测量药液、清洗槽液位信号AIEAP用途低液位报警五、常见执行器对应 DO/AO1. 电磁阀作用控制气路、真空、气体通断信号DO应用真空阀、破真空阀、气体阀2. 气缸/气动机构作用升降、夹紧、开门、推进信号DO应用Load Port升降、门开关3. 伺服/步进电机作用机械手运动、晶圆传送信号DO/AO应用Transfer Robot、Aligner4. 指示灯蜂鸣器作用状态显示、报警提醒信号DO含义绿待机黄运行红报警5. 加热器作用腔室加热、气体预热信号AOEAP一般不直接控制六、传感器-信号-执行器对照表部件类型常见例子对应信号传输方向作用传感器光电、接近、真空开关DI机台→PLC有无、到位、OK/NG传感器真空计、温度、流量AI机台→PLC数值、大小、程度执行器电磁阀、气缸、指示灯DOPLC→机台开关、动作、启停执行器调速电机、加热器AOPLC→机台调节功率、强度七、典型现场逻辑场景场景1Load Port 有FOUP光电传感器检测 → DIONPLC判断满足条件PLC输出DO → 电磁阀动作 → 自动开门场景2真空吸附晶圆真空开关检测 → DI真空OKPLC允许机械手移动不满足则触发Interlock场景3安全门打开行程开关 → DI门开PLC禁止所有运动输出DO切断电机与电磁阀八、EAP 学习意义机台提示无晶圆 → 查光电传感器真空异常报警 → 查真空开关/真空计机台不动作 → 查传感器是否到位指令下发无效 → 查执行器是否收到DO看懂I/O表与设备图纸必备基础九、本课核心总结传感器输出 DI/AI向PLC反馈状态执行器接收 DO/AO完成机台动作数字传感器对应DI只判有无/到位模拟传感器对应AI读取连续参数机台异常先查传感器动作异常再查执行器十、课后小作业列出5种机台常用传感器并标注DI/AI列出4种执行器并标注DO/AO描述FOUP放置在Load Port的完整信号流程说明安全门打开时机台停机的逻辑原因