当前位置: 首页 > news >正文

芯片热处理设备 HTR-4立式4寸快速退火炉

HTR-4立式4寸快速退火炉

HTR-4立式4寸快速退火炉(芯片热处理设备)广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产,和欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中,通过快速热处理以改善晶体结构和光电性能,技术指标高、工艺复杂、专用性强。

主要应用领域:

1.快速热处理(RTP),快速退火(RTA),快速热氧化(RTO),快速热氮化(RTN);

2.离子注入/接触退火;

3.金属合金;

4.热氧化处理;

5.化合物合金(砷化镓、氮化物等);

6.多晶硅退火;

7.太阳能电池片退火;

8.高温退火;

9.高温扩散。

产品特点:

  • 可测大尺寸样品:可测单晶片样品的尺寸为4英寸。
  • 压力控制系统创新设计:高精度控制压力,以满足不同的工艺要求。
  • 存储热处理工艺:方便工艺参数调取,提高实验效率,数据可查询。
  • 快速控温与高真空:升温速率可达150/s,真空度可达到10-5Pa。
  • 程序设定与气路扩展:可实现不同温度段的控制,进行降温段的自动转接,并能够对工艺菜单进行保存,方便调用。采用MFC控制气体流量,实现不同气氛环境(真空、氮气等)下的热处理。
  • 独特的腔体空间设计:保证大尺寸样品的温场均匀性 ≤1%。
  • 全自动智能控制:采用全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空、冷却水等均可实现自动控制。
  • 超高安全系数:采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施,全方位保障设备使用安全。
  • 主要技术参数:

样品尺寸

4英寸(直径100mm)

控温范围

RT~1200

升温速率(max)

150/s

高温段降温速率(max)

1200/min

控温精度

±0.5

温场均匀性

≤1% 

气体流量

标配1路MFC控制(氮气)可扩展至4路

压力控制

~1bar,±100Pa

工艺条件

支持真空、氧化、还原、惰性气体等工艺气氛,一键设置通过软件控制真空及通气时间

 

相关文章:

芯片热处理设备 HTR-4立式4寸快速退火炉

HTR-4立式4寸快速退火炉 HTR-4立式4寸快速退火炉(芯片热处理设备)广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产,和欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中,通…...

小研究 - 基于 MySQL 数据库的数据安全应用设计(一)

信息系统工程领域对数据安全的要求比较高,MySQL 数据库管理系统普遍应用于各种信息系统应用软件的开发之中,而角色与权限设计不仅关乎数据库中数据保密性的性能高低,也关系到用户使用数据库的最低要求。在对数据库的安全性进行设计时&#xf…...

mysql转sqlite3

在项目中需要将mysql迁移到sqlite3中,此时需要作数据转换 准备工作 下载mysql2sqlite转换工具 https://github.com/dumblob/mysql2sqlite/archive/refs/heads/master.zip 下载sqlite3 https://www.sqlite.org/download.html 转换 命令行中输入如下命令 1、cd …...

在linux中使用 ./configure 时报错

./configure --build编译平台 --host运行平台 --target目标平台 1. configure: error: cannot guess build type; you must specify one 解决办法:指定编译平台 ./configure --buildarm 2. configure: error: Either a previously installed…...

【LeetCode 算法】Reverse String 反转字符串

文章目录 Reverse String 反转字符串问题描述:分析代码双指针 Tag Reverse String 反转字符串 问题描述: 编写一个函数,其作用是将输入的字符串反转过来。输入字符串以字符数组 s 的形式给出。 不要给另外的数组分配额外的空间&#xff0c…...

linux sysctl.conf 常用参数配置

kernel.sysrq 0 kernel.core_uses_pid 1 kernel.msgmnb 65536#默认为16384,调高 kernel.msgmax 65536#默认为16384,调高 kernel.shmmax 68719476736#以sctl -a实际查询出的为准 kernel.shmall 4294967296#以sctl -a实际查询出的为准 net.ipv4.ip_f…...

【stm32】初识stm32—stm32环境的搭建

文章目录 🛸stm32资料分享🍔stm32是什么🎄具体过程🏳️‍🌈安装驱动🎈1🎈2 🏳️‍🌈建立Start文件夹 🛸stm32资料分享 我用夸克网盘分享了「STM32入门教程资料…...

Spring Boot3.0基础篇(二):Web 开发

Web 开发 Spring Boot Web 开发非常的简单,其中包括常用的 json 输出、filters、property、log 等 json 接口开发 在以前使用 Spring 开发项目,需要提供 json 接口时需要做哪些配置呢 添加 jackjson 等相关 jar 包配置 Spring Controller 扫描对接的方…...

【WebRTC---源码篇】(三:一)音频轨

音频轨的创建时序在Conductor::AddTracks()中 rtc::scoped_refptr<webrtc::AudioTrackInterface> audio_track(peer_connection_factory_->CreateAudioTrack(kAudioLabel, peer_connection_factory_->CreateAudioSource(cricket::AudioOptions()))); 通过代码我们…...

POM文件总体配置详细说明

今天跑一个项目&#xff0c;报错显示他的pom文件有问题&#xff0c;需要一个标准的pom文件对比&#xff0c;希望能帮到各位&#xff01; <project xmlns"http://maven.apache.org/POM/4.0.0" xmlns:xsi"http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance" …...

【项目 计网3】Socket介绍 4.9字节序 4.10字节序转换函数

文章目录 4.8 Socket介绍4.9字节序简介字节序举例 4.10字节序转换函数 4.8 Socket介绍 所谓 socket&#xff08;套接字&#xff09;&#xff0c;就是对网络中不同主机上的应用进程之间进行双向通信的端点的抽象。一个套接字就是网络上进程通信的一端&#xff0c;提供了应用层进…...

Spring Security 和 Apache Shiro 登录安全架构选型

Spring Security和Apache Shiro都是广泛使用的Java安全框架&#xff0c;它们都提供了许多功能来保护应用程序的安全性&#xff0c;包括身份验证、授权、加密、会话管理等。 Spring Security和Apache Shiro都是非常常用的登录安全框架,两者在登录安全架构的选型上各有特点: Sp…...

如何恢复已删除的 PDF 文件 - Windows 11、10

在传输数据或共享专业文档时&#xff0c;大多数人依赖PDF文件格式&#xff0c;但很少知道如何恢复意外删除或丢失的PDF文件。这篇文章旨在解释如何有效地恢复 PDF 文件。如果您身边有合适的数据恢复工具&#xff0c;PDF 恢复并不像看起来那么复杂。 便携式文档格式&#xff08…...

服务器数据恢复-raid5同步过程中又有一块磁盘报警的数据恢复案例

服务器数据恢复环境&#xff1a; 某研究院一台DELL存储&#xff0c;15块硬盘搭建的一组RAID5磁盘阵列。 该RAID5阵列只有一个卷组&#xff0c;该卷组占用了阵列的全部空间&#xff1b;该卷组只有一个起始位置为0扇区的XFS裸分区。 服务器故障&初检&分析&#xff1a; 该…...

解密Redis:应对面试中的缓存相关问题2

面试官&#xff1a;Redis集群有哪些方案&#xff0c;知道嘛&#xff1f; 候选人&#xff1a;嗯~~&#xff0c;在Redis中提供的集群方案总共有三种&#xff1a;主从复制、哨兵模式、Redis分片集群。 面试官&#xff1a;那你来介绍一下主从同步。 候选人&#xff1a;嗯&#xff…...

HTTP——八、确认访问用户身份的认证

HTTP 一、何为认证二、BASIC认证BASIC认证的认证步骤 三、DIGEST认证DIGEST认证的认证步骤 四、SSL客户端认证1、SSL 客户端认证的认证步骤2、SSL 客户端认证采用双因素认证3、SSL 客户端认证必要的费用 五、基于表单认证1、认证多半为基于表单认证2、Session 管理及 Cookie 应…...

解决word打字卡顿问题的方法

❤ 2023.8.5 ❤ 最近整理论文&#xff0c;本来我是wps死忠粉&#xff0c;奈何wps不支持latex公式。。。 无奈用起了word&#xff0c;但是谁想字数稍微多了一点&#xff0c;word就卡得欲仙欲死&#xff0c;打个字过去2s才显示出来&#xff0c;删除的时候都不知道自己删了几个字…...

python elasticsearch update by query

创建索引以及添加数据 PUT test {"mappings": {"properties": {"test":{"type": "nested"}} }}GET test/_mappingPUT test/_doc/1 {"test":{"name":"ellis","age":100} }elastics…...

Linux搭建pikachu靶场(以centos为例)

Linux搭建pikachu靶场 Pikachu是一个使用PHP语言编写的Web漏洞测试靶场。下面是在CentOS 7上安装Pikachu靶场的步骤&#xff1a; 安装LAMP (Linux, Apache, MySQL, PHP) 堆栈&#xff1a; 首先&#xff0c;需要在CentOS 7服务器上安装LAMP堆栈。 安装Apache&#xff1a; yum i…...

git clone 登录 github

git clone 登录 github 目录概述需求&#xff1a; 设计思路实现思路分析1.github 设置setting2.输入passwd 参考资料和推荐阅读 Survive by day and develop by night. talk for import biz , show your perfect code,full busy&#xff0c;skip hardness,make a better result…...

多模态2025:技术路线“神仙打架”,视频生成冲上云霄

文&#xff5c;魏琳华 编&#xff5c;王一粟 一场大会&#xff0c;聚集了中国多模态大模型的“半壁江山”。 智源大会2025为期两天的论坛中&#xff0c;汇集了学界、创业公司和大厂等三方的热门选手&#xff0c;关于多模态的集中讨论达到了前所未有的热度。其中&#xff0c;…...

安宝特方案丨XRSOP人员作业标准化管理平台:AR智慧点检验收套件

在选煤厂、化工厂、钢铁厂等过程生产型企业&#xff0c;其生产设备的运行效率和非计划停机对工业制造效益有较大影响。 随着企业自动化和智能化建设的推进&#xff0c;需提前预防假检、错检、漏检&#xff0c;推动智慧生产运维系统数据的流动和现场赋能应用。同时&#xff0c;…...

Spring数据访问模块设计

前面我们已经完成了IoC和web模块的设计&#xff0c;聪明的码友立马就知道了&#xff0c;该到数据访问模块了&#xff0c;要不就这俩玩个6啊&#xff0c;查库势在必行&#xff0c;至此&#xff0c;它来了。 一、核心设计理念 1、痛点在哪 应用离不开数据&#xff08;数据库、No…...

Python 包管理器 uv 介绍

Python 包管理器 uv 全面介绍 uv 是由 Astral&#xff08;热门工具 Ruff 的开发者&#xff09;推出的下一代高性能 Python 包管理器和构建工具&#xff0c;用 Rust 编写。它旨在解决传统工具&#xff08;如 pip、virtualenv、pip-tools&#xff09;的性能瓶颈&#xff0c;同时…...

JVM虚拟机:内存结构、垃圾回收、性能优化

1、JVM虚拟机的简介 Java 虚拟机(Java Virtual Machine 简称:JVM)是运行所有 Java 程序的抽象计算机,是 Java 语言的运行环境,实现了 Java 程序的跨平台特性。JVM 屏蔽了与具体操作系统平台相关的信息,使得 Java 程序只需生成在 JVM 上运行的目标代码(字节码),就可以…...

人机融合智能 | “人智交互”跨学科新领域

本文系统地提出基于“以人为中心AI(HCAI)”理念的人-人工智能交互(人智交互)这一跨学科新领域及框架,定义人智交互领域的理念、基本理论和关键问题、方法、开发流程和参与团队等,阐述提出人智交互新领域的意义。然后,提出人智交互研究的三种新范式取向以及它们的意义。最后,总结…...

C++.OpenGL (20/64)混合(Blending)

混合(Blending) 透明效果核心原理 #mermaid-svg-SWG0UzVfJms7Sm3e {font-family:"trebuchet ms",verdana,arial,sans-serif;font-size:16px;fill:#333;}#mermaid-svg-SWG0UzVfJms7Sm3e .error-icon{fill:#552222;}#mermaid-svg-SWG0UzVfJms7Sm3e .error-text{fill…...

Go语言多线程问题

打印零与奇偶数&#xff08;leetcode 1116&#xff09; 方法1&#xff1a;使用互斥锁和条件变量 package mainimport ("fmt""sync" )type ZeroEvenOdd struct {n intzeroMutex sync.MutexevenMutex sync.MutexoddMutex sync.Mutexcurrent int…...

从面试角度回答Android中ContentProvider启动原理

Android中ContentProvider原理的面试角度解析&#xff0c;分为​​已启动​​和​​未启动​​两种场景&#xff1a; 一、ContentProvider已启动的情况 1. ​​核心流程​​ ​​触发条件​​&#xff1a;当其他组件&#xff08;如Activity、Service&#xff09;通过ContentR…...

MyBatis中关于缓存的理解

MyBatis缓存 MyBatis系统当中默认定义两级缓存&#xff1a;一级缓存、二级缓存 默认情况下&#xff0c;只有一级缓存开启&#xff08;sqlSession级别的缓存&#xff09;二级缓存需要手动开启配置&#xff0c;需要局域namespace级别的缓存 一级缓存&#xff08;本地缓存&#…...