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【芯片制造】【常用术语】CP、FT、WAT

背景:

    在我们讲wafer加工好以后,需要进行相关测试,在此阶段,有很多提及到的常用术语,我们依次进行解释。

主要单词含义:

    CP : Chip Probing(probe card),wafer level 的电路测试含功能;FT : Final Test,device level 的电路测试含功能;WAT : Wafer Acceptance Test(也叫PCM(Process Control Monitoring)),wafer level 的管芯或结构测试;

主要功能:

   1、CP:A.把坏的Die挑出来,可以减少封装和测试的成本。可以更直接的知道Wafer 的良率,在pass 的情况下才会去封装。B.对wafer进行测试,检查fab厂制造的工艺水平,包括backgrinding和backmetal(if need),对一些基本器件参数的测试,如vt(阈值电压),Rdson(导通电阻),BVdss(源漏击穿电压),Igss(栅源漏电流),Idss(漏源漏电流)等,一般测试机台的电压和功率不会很高。C.CP 测试对Memory来说还有一个非常重要的作用,那就是通过MRA计算出chip level 的Repair address,通过Laser Repair将CP测试中的Repairable die 修补回来,这样保证了yield和reliability两方面的提升D.CP在整个制程中算是半成品测试,目的有2个,1个是监控前道工艺良率,第2个是降低后道成本(避免封装过多的坏芯片),其能够测试的项比FT要少些。最简单的一个例子,碰到大电流测试项CP肯定是不测的(探针容许的电流有限),这项只能在封装后的FT测。不过许多项CP测试后FT的时候就可以免掉不测了(可以提高效率),所以有时会觉得FT的测试项比CP少很多。2、FT:A.FT是把坏的chip挑出来;检验封装的良率。B.FT是对package进行测试,检查封装厂制造的工艺水平,FT是packaged chip level的Final Test,主要是对于这个(CP passed)IC或Device芯片应用方面的测试,有些甚至是待机测试。C.有些测试项在CP时会进行测试,在FT时就不用再次进行测试了,节省了FT测试时间;但是有些测试项必须在FT时才进行测试(不同的设计公司会有不同的要求)

这里需要强调的是:
一般来说,CP测试的项目比较多,比较全;FT测的项目比较少,但都是关键项目,条件严格。但也有很多公司只做FT不做CP(如果FT和封装yield高的话,CP就失去意义了)。
在测试方面,CP比较难的是探针卡的制作,并行测试的干扰问题。FT相对来说简单一点。还有一点,memory测试的CP会更难,因为要做redundancy analysis,写程序很麻烦

   3、WAT:A.对专门的测试图形(test key)的测试,通过电参数来监控各步工艺是否正常和稳定	。B.WAT的测试项和CP/FT是不同的,对Wafer 划片槽(Scribe Line)测试键(Test Key)的测试,通过电性参数来监控各步工艺是否正常和稳定。C.WAT测试有问题,超过SPEC,一般对应Fab各个Module制程工艺或者机台Shift,例如Litho OVL异常,ETCH CD 偏小,PVD TK偏大等等。WAT有严重问题的Wafer会直接报废。

以上,是关于 在我们讲wafer加工好以后,常用的术语。

–补充,暂时放这里
OM:也叫目检,OM属于表面观察,看不到内部情况。

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