聊聊国内首台重大技术装备(2)
上次,介绍了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》中介绍的硅外延炉,湿法清洗机,氧化炉,见文章:
《聊聊国内首台重大技术装备(1)》
这次来解读一下目录中提到的匀胶显影机,光刻机及离子注入机。
匀胶显影机,光刻机,离子注入机解读
匀胶显影机,也可以叫做track,一般匀胶显影是集成在一起,而不是分开的。因此track机台的主要功能包括光刻胶旋涂,烘烤,显影,清洗等功能。光刻胶旋涂是将光刻胶以高速旋转的方式均匀地涂布在晶圆表面;烘烤则是为了以去除光刻胶中的溶剂,稳定光刻胶层,提高其附着力;显影是为了去除正胶的曝光区域或负胶的未曝光区域。
国产的光刻机中有KrF光刻机与ArF光刻机。从目录上看,KrF光刻机分辨率小于110nm,ArF光刻机小于65nm。这应该是上海微电子的产品,至于ArF光刻机应当是非浸没式的。这两款光刻机相对于主流机台还落后不少,做IC芯片无法胜任,不过是可以应用于MEMS,LED,先进封装领域。
量产光刻机可用的波长分别为:G线(436nm),i线(365nm),KrF(248nm),ArF(193nm),EUV(13nm)。G线和 i线属于紫外线(UV),可以由汞灯,LED灯产生;KrF,ArF属于深紫外线(DUV),分别由氟化氪准分子激光器,氟化氩准分子激光器产生;EUV是极紫外光,可以由激光等离子体产生。
离子注入机的种类繁多,如果按能量来分,有低能(<100KeV)、中能(100~300KeV)、高能(300~1000KeV)和兆伏离子注入机(≥1000KeV);按束流分,有小束流,中束流(1~2mA)和大束流。
在目录中看到了离子注入机的种类有高能离子注入机,低能离子注入机。高能离子注入机适用于深层掺杂,低能离子注入机适用于浅层掺杂或表面改性。由于集成电路制程已经缩小至几纳米,源漏极的结深相应减小,为了实现浅层掺杂,低能大束流日渐成为主流,其技术难度也最高。
国内外厂家有哪些?
匀胶显影机
国外:VEECO,TEL,DNS,ASAP,EVG,SUSS等
国内:至纯,芯源微,沈阳科仪等
光刻机
国外:ASML,Nikon,Canon,VEECO,EVG,SUSS等
国内:上海微电子等
离子注入机
国外:AMAT,AXCELIS,ULVAC
国内:汉辰(台湾),凯士通,烁科中科信等
相关文章:

聊聊国内首台重大技术装备(2)
上次,介绍了《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》中介绍的硅外延炉,湿法清洗机,氧化炉,见文章: 《聊聊国内首台重大技术装备(1)》…...
python 实现rayleigh quotient瑞利商算法
rayleigh quotient瑞利商算法介绍 瑞利商(Rayleigh Quotient)算法在多个领域,如线性代数、计算机视觉和机器学习等,都有重要的应用。瑞利商定义为函数 R ( A , x ) ( x H A x ) / ( x H x ) R(A, x) (x^H Ax) / (x^H x) R(A,x)…...

Java Web应用升级故障案例解析
在一次Java Web应用程序的优化升级过程中,从Tomcat 7.0.109版本升级至8.5.93版本后,尽管在预发布环境中验证无误,但在灰度环境中却发现了一个令人困惑的问题:新日志记录神秘“失踪”。本文深入探讨了这一问题的排查与解决过程&…...

Java类和对象、自定义包、static、代码块、方法重写
目录 1.类和对象 2.this指针 3.对象的构造和初始化 3.1默认初始化 3.2就地初始化 3.3构造初始化 3.4IDEA快速填充 3.5使用this简化 3.6初始化的总结 4.包的引入 4.1包的概念 4.2导入包中的类 4.3自定义包 5.static修饰 6.代码块的划分 7.方法重写 1.类和对象 使…...

【系统代码】招投标采购一体化管理系统,JAVA+vue
前言: 随着互联网和数字技术的不断发展,企业采购管理逐渐走向数字化和智能化。数字化采购平台作为企业采购管理的新模式,能够提高采购效率、降低采购成本、优化供应商合作效率,已成为企业实现效益提升的关键手段。系统获取在文末…...

基于yolov8深度学习的120种犬类检测与识别系统python源码+onnx模型+评估指标曲线+精美GUI界面目标检测狗类检测犬类识别系统
【算法介绍】 基于YOLOv8深度学习的120种犬类检测与识别系统是一款功能强大的工具,该系统利用YOLOv8深度学习框架,通过21583张图片的训练,实现了对120种犬类的精准检测与识别。 该系统基于Python与PyQt5开发,具有简洁的UI界面&a…...
UNI-APP_iOS开发技巧之:跳转到TestFlight或者App Store
有的时候我们的应用可能需要上TestFlight或者App Store,更新升级就需要跳到TestFlight里面。方法如下: 跳转到TestFlight: itms-beta://itunes.apple.com/app/你的AppID 跳转到AppStore: itms-apps://itunes.apple.com/app/你的AppIDhttps://airp…...

基于SSM+Vue技术的定制式音乐资讯平台
文未可获取一份本项目的java源码和数据库参考。 一、选题的背景与意义: 随着个人计算机的普及和互联网技术的日渐成熟,网络正逐渐成为人们获取信息及消费的主要渠道。然而在当前这个信息时代,网络中的信息种类和数量呈现爆炸性增长的趋势&a…...
Spring依赖注入和注解驱动详解和案例示范
在 Spring 框架中,依赖注入(Dependency Injection, DI)和注解驱动(Annotation-Driven)是其核心机制,它们为 Spring 应用提供了灵活性和可扩展性。依赖注入简化了对象间的依赖管理,而注解驱动则通…...

网络通信——OSPF协议(基础篇)
这里基础是因为没有讲解OSPF中的具体算法过程,以及其中很多小细节。后续会更新。 目录 一.OSPF的基础信息 二.认识OSPF中的Router ID 三.OSPF中的三张表 四.OSPF中的度量方法(计算开销值) 五. OSPF选举DR和BDR(就是这个区域…...

Kubernetes从零到精通(15-安全)
目录 一、Kubernetes API访问控制 1.传输安全(Transport Security) 2.认证(Authentication) 2.1 认证方式 2.2 ServiceAccount和普通用户的区别 2.3 ServiceAccount管理方式 自动ServiceAccount示例 手动ServiceAccount示例 3.鉴权 (Authorization) 3.1鉴权方式 3.2 …...

《蓝桥杯算法入门》(C/C++、Java、Python三个版本)24年10月出版
推荐:《算法竞赛》,算法竞赛大全书,网购:京东 天猫 当当 文章目录 《蓝桥杯算法入门》内容简介本书读者对象作者简介联系与交流《蓝桥杯算法入门 C/C》版目录 《蓝桥杯算法入门 Java》版目录 《蓝桥杯算法入门 Python》版目录 …...

Soar项目中添加一条新的SQL审核规则示例
soar是一个开源的SQL规则审核工具,是一个go语言项目,可以直接编译构建成一个可执行程序,而且是一个命令行工具,我们可以利用archey来调用soar进行sql规则审核以及sql的分析,包括执行计划的查看及sql建议等。 soar中已…...

RISC-V开发 linux下GCC编译自定义指令流程笔记
第一步:利用GCC提供了内嵌汇编的功能可以在C代码中直接内嵌汇编语言 第二步:利用RSIC-V的中的.insn模板进行自定义指令的插入 第三步:RISC-V开发环境的搭建 C语言插入汇编 GCC提供了内嵌汇编的功能可以在C代码中直接内嵌汇编语言语句方便了…...
java代码是如何与数据库通信的?
Java代码与数据库通信的过程主要通过Java Database Connectivity(JDBC)来实现。JDBC是Java与数据库之间的标准接口,提供了用于执行SQL语句和处理数据库结果的API。以下是Java代码与数据库通信的详细步骤: 一、导入JDBC库 在Java…...

gateway--网关
在微服务架构中,Gateway(网关)是一个至关重要的组件,它扮演着多种关键角色,包括路由、负载均衡、安全控制、监控和日志记录等。 Gateway网关的作用 统一访问入口: Gateway作为微服务的统一入口,…...

北京数字孪生工业互联网可视化技术,赋能新型工业化智能制造工厂
随着北京数字孪生工业互联网可视化技术的深入应用,新型工业化智能制造工厂正逐步迈向智能化、高效化的全新阶段。这项技术不仅实现了物理工厂与数字世界的精准映射,更通过大数据分析、人工智能算法等先进手段,为生产流程优化、资源配置合理化…...

土地规划与区域经济发展:筑基均衡未来的战略经纬
在新时代背景下,土地规划不仅是空间布局的艺术,更是推动区域经济均衡发展的关键引擎。土地资源的合理配置对于激发区域潜能、促进经济结构优化有着重要意义。本文将深入剖析土地规划如何成为促进区域经济均衡发展的强大动力。 一、土地规划与区域经济的…...
wsl(2) -- ubuntu24.04配置
1. 常用脚本及别名配置 修改的文件内容参考另一篇文章常用bash脚本。 修改~/.bashrc,在文件末尾追加以下内容。 # Add by user export MYTOOLS$HOME/tools export MYBINS$HOME/bin # 系统中其他地方已经添加过了,暂不清楚是哪里添加的 #export PATH$M…...
python快速搭建https服务器
本文介绍了在ubuntu操作系统上搭建https服务器的过程 在一台连接到网络的主机上搭建https服务器,假设该主机的ip地址为:10.98.69.174 创建证书example.crt和私钥example.key openssl req -newkey rsa:2048 -nodes -keyout example.key -x509 -days 365…...
基于大模型的 UI 自动化系统
基于大模型的 UI 自动化系统 下面是一个完整的 Python 系统,利用大模型实现智能 UI 自动化,结合计算机视觉和自然语言处理技术,实现"看屏操作"的能力。 系统架构设计 #mermaid-svg-2gn2GRvh5WCP2ktF {font-family:"trebuchet ms",verdana,arial,sans-…...
java_网络服务相关_gateway_nacos_feign区别联系
1. spring-cloud-starter-gateway 作用:作为微服务架构的网关,统一入口,处理所有外部请求。 核心能力: 路由转发(基于路径、服务名等)过滤器(鉴权、限流、日志、Header 处理)支持负…...

树莓派超全系列教程文档--(61)树莓派摄像头高级使用方法
树莓派摄像头高级使用方法 配置通过调谐文件来调整相机行为 使用多个摄像头安装 libcam 和 rpicam-apps依赖关系开发包 文章来源: http://raspberry.dns8844.cn/documentation 原文网址 配置 大多数用例自动工作,无需更改相机配置。但是,一…...
深入浅出:JavaScript 中的 `window.crypto.getRandomValues()` 方法
深入浅出:JavaScript 中的 window.crypto.getRandomValues() 方法 在现代 Web 开发中,随机数的生成看似简单,却隐藏着许多玄机。无论是生成密码、加密密钥,还是创建安全令牌,随机数的质量直接关系到系统的安全性。Jav…...
安卓基础(aar)
重新设置java21的环境,临时设置 $env:JAVA_HOME "D:\Android Studio\jbr" 查看当前环境变量 JAVA_HOME 的值 echo $env:JAVA_HOME 构建ARR文件 ./gradlew :private-lib:assembleRelease 目录是这样的: MyApp/ ├── app/ …...

基于Springboot+Vue的办公管理系统
角色: 管理员、员工 技术: 后端: SpringBoot, Vue2, MySQL, Mybatis-Plus 前端: Vue2, Element-UI, Axios, Echarts, Vue-Router 核心功能: 该办公管理系统是一个综合性的企业内部管理平台,旨在提升企业运营效率和员工管理水…...

C++ 设计模式 《小明的奶茶加料风波》
👨🎓 模式名称:装饰器模式(Decorator Pattern) 👦 小明最近上线了校园奶茶配送功能,业务火爆,大家都在加料: 有的同学要加波霸 🟤,有的要加椰果…...

HubSpot推出与ChatGPT的深度集成引发兴奋与担忧
上周三,HubSpot宣布已构建与ChatGPT的深度集成,这一消息在HubSpot用户和营销技术观察者中引发了极大的兴奋,但同时也存在一些关于数据安全的担忧。 许多网络声音声称,这对SaaS应用程序和人工智能而言是一场范式转变。 但向任何技…...

Scrapy-Redis分布式爬虫架构的可扩展性与容错性增强:基于微服务与容器化的解决方案
在大数据时代,海量数据的采集与处理成为企业和研究机构获取信息的关键环节。Scrapy-Redis作为一种经典的分布式爬虫架构,在处理大规模数据抓取任务时展现出强大的能力。然而,随着业务规模的不断扩大和数据抓取需求的日益复杂,传统…...

pikachu靶场通关笔记19 SQL注入02-字符型注入(GET)
目录 一、SQL注入 二、字符型SQL注入 三、字符型注入与数字型注入 四、源码分析 五、渗透实战 1、渗透准备 2、SQL注入探测 (1)输入单引号 (2)万能注入语句 3、获取回显列orderby 4、获取数据库名database 5、获取表名…...