分享半导体Fab 缺陷查看系统,平替klarity defect系统
分享半导体Fab 缺陷查看系统,平替klarity defect系统;开发了半年有余。
查看Defect Map,Defect image,分析Defect size,defect count trend.
不用再采用klarity defect系统(license 太贵)
也可以读取Klarf文件(中科飞测和KT的都可以识别)
技术要点:
首先认识Klarf中的三个值:
DiePitch:klarf recipe定义的Die Size ,X,Y,单位um。
DieOrigin:klarf中(0,0)Die左下角相对于klarf recipe坐标系中心的offset,X,Y,单位um。
SampleCenterLocation:wafer物理圆心相对于klarf recipe坐标系中心的offset,X,Y,单位um。
DB解读:
Klarity DB有自己的坐标系,依据这个坐标系来存klarf的值:
insp_wafer_summary中的CENTER_X,CENTER_Y:wafer圆心的在DB坐标系中的坐标值。
insp_wafer_summary中的ORIGIN_X,ORIGIN_Y:klarf recipe的坐标系中心在DB坐标系中的坐标值,klarf-SampleCenterLocation-X=
INSP_RECIPE中的ORIGIN_DIE_X,ORIGIN_DIE_Y:klarf(0,0)Die相对于klarf recipe的坐标系中心的矢量距离。
实现Defect Map、defect image查看



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