SEMI E40-0200 STANDARD FOR PROCESSING MANAGEMENT(加工管理标准)-(二)

8 行为规范

8.1 本章定义监督实体（Supervisor）与加工资源（Processing Resource）为实现物料加工所需的高层级通信逻辑，不涉及具体消息细节（详见第10章消息服务）。

8.2 加工任务通信

8.2.1 加工任务控制消息流
图1展示了正常操作时的控制消息流，箭头表示关键信息交换。

8.2.1.1 各消息详细说明

8.2.1.2 加工任务创建（PR Job Create）
监督实体请求加工资源执行指定任务。请求可能被立即执行或加入队列（当资源繁忙或物料到达顺序未知时）。若资源不支持队列或队列已满，请求将被拒绝。请求需包含以下加工规范：

• 物料标识（如晶圆ID或载具编号）；
• 配方定义（RecipeID及调节参数）；
• 启动模式（可选手动启动，默认为自动）。

8.2.1.2.1 验证逻辑
加工资源接收请求后，需验证以下内容后方可确认：

1. 参数合法性（配方是否存在、物料类型匹配）；
2. 动态资源可用性（如当前是否可接收物料）；
3. 队列容量（若启用队列功能）。

8.2.1.2.2 自动启动
若请求为自动启动模式，加工资源需设置ProcessStart属性为TRUE。

8.2.1.3 加工任务创建确认（PR Job Create Acknowledge）
加工资源向监督实体返回接受或拒绝状态。若拒绝，需提供错误码及文本原因（如ERR_QUEUE_FULL）。

8.2.1.4 加工任务准备（PR Job Setup）
加工资源报告任务已激活并进入准备阶段（可能从队列中唤醒或新建）。此阶段行为包括：

1. 预处理（如腔室预热）；
2. 等待物料到达（若物料未就位）；
3. 物料就位后自动启动加工（若为自动模式）。
   8.2.1.5 加工任务处理（PR Job Processing） —— 加工资源报告物料加工已启动。

8.2.1.6 加工任务处理完成（PR Job Processing Complete） —— 加工资源报告物料加工完成，物料可移出。

8.2.1.7 加工任务完成（PR Job Complete） —— 加工资源声明任务完成（物料处理结束、已移出且后处理完成）。此消息也用于任务异常终止，需提供加工结果（成功/失败）及失败原因（错误码+描述）。

8.2.2 加工任务信息事件

8.2.2.1 事件报告可选性

• 信息事件（如状态变更）非强制支持，但需提供启用/禁用接口（如通过SECS-II S2F37消息配置）。

8.2.2.2 等待物料事件（PR Job Waiting for Material）

• 加工资源报告预处理完成，等待物料到达。仅发生在Setup阶段。
• 示例：触发SEMI E53事件CEID=1001，消息内容包含预计等待时间（WaitTime: U4 300）。

8.2.2.3 状态变更事件（PR Job State Change）

• 加工资源状态迁移时触发（如Created→Setup→Processing），需遵循图3状态模型。
• 通过SECS-II S6F11消息上报，参数示例：

  <L,2  A[12] "JOB_12345"      // JobID  A[8]  "Processing"    // NewState  
  

8.2.3 扩展消息控制

8.2.3.1 强制支持功能

• 终止（Abort）：立即终止任务，可能导致物料状态未知，用于紧急故障（如安全联锁触发）。

8.2.3.2 终止命令（PR Job Abort）

• 监督者可在任何阶段发送终止指令（SECS-II S7F25），加工资源需立即停止所有活动并释放资源。
• 若任务在队列中，效果等同于取消（Cancel）。

8.2.3.3 停止命令（PR Job Stop）

• 有序终止任务，确保物料完整性。任务终止后需新建任务以继续加工。
• 若任务在队列中，效果等同于取消（Cancel）。
• 示例：刻蚀过程中检测到气体泄漏，停止任务并保留晶圆半成品状态。

8.2.3.4 取消命令（PR Job Cancel）

• 仅取消未激活的队列任务（如排队中的任务），不影响运行中任务。

8.2.3.5 暂停/恢复命令（PR Job Pause/Resume）

• 暂停：任务进入安全中断点（如腔室压力稳定后），允许后续恢复；
• 恢复：从暂停点继续执行，需确保参数一致性（如配方版本未变更）。

8.2.3.6 手动启动控制

• PR Job Create 中设置ProcessStart=Manual时，需监督者发送PR Job Start Process（S7F19）触发加工；
• 等待启动事件（PR Job Waiting for Start）：物料就绪但未收到启动指令，状态通过S6F11事件上报。

8.2.3.7 加工任务启动确认（PR Job Start Acknowledge）
加工资源向监督者反馈启动请求的接受或拒绝状态。若拒绝，需提供错误代码及文本说明失败原因。

8.3 加工任务状态模型( Process Job State Model)
加工管理的行为规范完全由加工资源（服务提供方）的状态模型定义，监督者（服务使用方）的行为可通过该模型推导得出。

8.3.1 状态模型与消息流关联性

• 前文消息流程图（图1）适用于简单场景，本节状态模型则为所有标准内场景提供完整状态迁移规则。
• 瞬态实体特性：
  • 加工任务由监督者请求创建，执行完毕后由加工资源删除；
  • 生命周期覆盖物料交付前至移出后的完整时段。

8.3.1.1 状态模型图示（图3）与规范

• 采用Harel状态图标记法（第5.1节约定），顶部/底部椭圆表示任务的创建与删除；
• 状态迁移规则详见表1与表2。

状态定义

8.3.2 排队/资源池状态（PR JOB QUEUED/POOLED）

• 定义：任务已通过PR Job Create/Acknowledge消息（如PRJobCreate、PRJobCreateEnh等）被接受，等待执行。
• 激活规则：
  • 需声明作业出队（或从资源池选择）逻辑（如FIFO、物料到达顺序、主机指定顺序）；
  • 任务保持此状态直至加工资源位置就绪或已被待加工物料占用。

8.3.3 活跃状态（PR JOB ACTIVE）

• 定义：任务执行所有加工相关活动，包含四个并发子状态：
  1. 执行（Executing）：正常作业操作的行为描述；
  2. 终止（Abort）：紧急中断流程；
  3. 停止（Stop）：有序终止；
  4. 暂停（Pause）：安全点中断。

8.3.4 准备阶段（SETUP）

• 行为：
  • 执行预处理（如腔室预热）；
  • 等待物料到达；
  • 准备加工环境。
• 异常处理：若预处理需无物料参与但配方要求物料存在，则任务失败终止。

8.3.5 等待启动（WAITING FOR START）

• 触发条件：
  • 仅用于手动启动模式（由监督者在PR Job Create中指定）；
  • 进入条件：SETUP完成且未收到PR Job Start Process指令。
• 终止路径：接收启动指令，或通过Abort/Stop终止任务。

8.3.6 加工阶段（PROCESSING）

• 定义：实际对物料施加加工处理的阶段。

8.3.7 加工完成（PROCESSINGCOMPLETE）

• 行为：
  • 等待物料移出；
  • 执行后处理（如腔室清洁）。
• 任务覆盖规则：
  • 若同一物料的后续任务无需后处理，则当前任务直接成功终止；
  • 若需后处理，后续任务需保持排队直至当前任务完成后处理。

8.3.7.1 若同一物料的加工任务被另一加工任务替代且无需后处理，则原任务在物料仍存在时成功终止。若需后处理，则后续任务无法替代并保留在队列中。

8.3.7.2 终止（Abort） —— 终止是 PRJOBACTIVE 状态的并发子状态，包含描述加工任务终止行为的活跃子状态。

8.3.8 未终止（NOT ABORTING） —— 在此子状态下，终止流程未激活，加工任务正常执行。

8.3.9 终止中（ABORTING） —— 在此子状态下，执行终止流程以立即终止加工任务。加工资源需尽快停止物理活动并进入安全状态。

8.3.9.1 停止（Stop） —— 停止是 PRJOBACTIVE 状态的并发子状态，包含描述加工任务停止行为的活跃子状态。

8.3.10 未停止（NOT STOPPING） —— 在此子状态下，停止流程未激活，加工任务正常执行。

8.3.11 停止中（STOPPING） —— 在此子状态下，执行停止流程以有序终止加工任务。加工资源需在下一安全点停止当前活动，确保物料完整性。此操作要求物料完全按配方处理或完全不处理。

8.3.11.1 暂停（Pause） —— 暂停是 PRJOBACTIVE 状态的并发子状态，与加工任务执行并行存在，包含描述任务暂停/恢复行为的活跃子状态。

8.3.12 未暂停（NOT PAUSED） —— 加工任务默认进入此子状态，任务正常执行。

9 对象定义

9.1 加工管理定义了一个标准对象——加工任务（Process Job）。
9.2 加工任务对象定义
加工任务是由加工资源（Processing Resource）根据监控实体（Supervisor）的请求创建的动态对象。该对象追踪所需操作的执行进度，并在任务完成后由加工资源自动删除。加工任务通过 加工任务ID（PRJobID） 属性唯一标识。下表使用的对象属性表示法详见第5.2节规范约定。