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真空泵系统数据采集远程监控解决方案

行业背景

半导体制造业可以说是现代电子工业的核心产业,广泛应用于计算机、通信、汽车、医疗等领域。而在半导体生产加工过程中,如刻蚀、 镀膜、 扩散、沉积、退火等环节,真空泵都是必不可少的关键设备,它可以构建稳定受控的真空环境,以避免产品出现污染、氧化或者其他缺陷,对于半导体产品的品质、寿命以及性能都有着不可忽视的影响。

为保证真空泵系统安全稳定运行,物通博联提供基于工业智能网关的数据采集远程监控系统,实现真空泵运行状态及工艺参数的在线监控与预警,从而帮助工厂及时采取措施,保证生产安全与产品质量。

行业痛

1数据采集困难:真空泵通常分布在生产现场或远程地点,传统的手动采集数据方式需要人工去现场抄写数据,工作量大,因此需要数据采集实现远程监控。

2、故障发现慢:真空泵运行出现故障无法及时感知,一旦出现故障就会影响生产的稳定性和安全性,同时造成物料浪费,因此需要故障预警报警机制。

3、数据应用难题:真空泵产生的数据包括压强、温度、振动等多种参数,需要进行实时处理和分析,需要数据报表及展示分析渠道,实现提质增效、节能优化等。

解决方案

半导体工业正在逐步实现自动化生产,真空泵系统通过PLC自动化控制已经得到广泛应用,因此只需要将物通博联工业智能网关接入到PLC,就能实时采集PLC内真空泵的工作参数(压强、温度、振动等)并通过5G/4G/WIFI/以太网等方式上传到云平台或本地上位机,进而实现设备远程监控、故障报警、远程控制及远程维护等功能。

通过手机端和电脑端,工厂可以远程查看工艺组态画面,了解每台真空泵的运行状态、工艺参数、故障信息、运维记录等,从而实现及时管理控制,维护安全稳定的生产秩序。

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