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12寸半导体厂说的华夫区是什么意思

news 2026/2/10 8:42:05

1\什么是华夫板

在半导体行业中，“华夫区”通常指的是“华夫板”（Waffle Slab），这是一种特殊设计的楼板，其表面具有许多均匀分布的孔洞，这些孔洞形成了回风通道，用于电子芯片厂房等对空气洁净度有极高要求的环境。华夫板的设计和施工对于保证洁净室的功能发挥至关重要。

华夫板的主要特点包括：
1. 防微震：华夫板与密肋交叉梁系和钢筋混凝土剪力墙一起组成楼层结构防微震系统，以满足电子厂房对防微震的要求。
2. 空气循环：华夫板上的孔洞用于空气循环，以防治尘埃粒子附着，满足电子厂房的洁净度要求。
3. 结构设计：华夫板由华夫模板和钢筋混凝土组成，华夫模板可以是FRP（环氧玻璃钢）等新型复合材料。
4. 回风孔设计：华夫板上的回风孔主要有矩形和圆形两种，圆形孔由于回风效果较好，目前更为常见。
5. 洁净度要求：在一些高要求的半导体项目中，华夫板的设计能够达到“百级”洁净度，即每立方英尺空气中粒径大于等于0.5微米的粒子数量不超过100个，这堪比最高洁净

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