PHS树脂(聚对羟基苯乙烯)为KrF光刻胶专用树脂 本土企业具备百公斤级别量产能力
PHS树脂(聚对羟基苯乙烯)为KrF光刻胶专用树脂 本土企业具备百公斤级别量产能力
PHS树脂又称聚对羟基苯乙烯树脂、聚羟基苯乙烯树脂,指以对羟基苯乙烯作为基材制成的光刻胶树脂。与其他光刻胶树脂相比,PHS树脂具有极佳热稳定性、化学稳定性、光敏性以及溶解选择性,可用作光刻胶感光树脂以及成膜材料。
PHS树脂制备方法主要包括缩聚聚合法以及自由基聚合法。以上两种方法皆存在成品质量差、反应难控制、易造成环境污染等问题。近年来,我国企业及相关科研机构不断加大研发投入力度,已获得多项PHS树脂相关发明专利,主要包括《一种高分子量且窄分布PHS树脂及其制备方法与应用》、《一种超支化聚羟基苯乙烯树脂及其合成方法与应用》等。
根据新思界产业研究中心发布的《2024年全球及中国PHS树脂(聚对羟基苯乙烯)产业深度研究报告》显示,PHS树脂作为光刻胶专用树脂,可用于生产KrF光刻胶。KrF光刻胶指曝光光源达到248nm的光刻胶,主要用于8英寸及12英寸等大尺寸硅片制备过程中。受技术封锁、生产成本高等因素限制,我国KrF光刻胶高度依赖进口,美国及日本等国为我国主要进口国。近年来,随着全球半导体产业向我国大陆转移,我国光刻胶市场国产化进程有所加快,这将为PHS树脂行业发展提供有利条件。
2023年12月,国家工信部发布《重点新材料首批次应用示范指导目录(2024年版)》,文件明确将KrF光刻胶专用树脂等集成电路用光刻胶关键原材料和配套试剂纳入“先进半导体材料和新型显示材料”目录。未来伴随国家政策支持,PHS树脂行业发展态势将持续向好。
我国PHS树脂市场参与者包括彤程新材、八亿时空、圣泉集团等。我国PHS树脂行业尚处于起步阶段,但发展势头迅猛,部分企业已具备其量产能力。北京八亿时空液晶科技股份有限公司专注于光刻胶材料、液晶显示材料的研发、生产及销售,为我国PHS树脂代表企业。目前,八亿时空正在积极推进光敏聚酰亚胺、KrF光刻胶用PHS树脂及其衍生物的研发工作,已具备百公斤级别PHS树脂量产能力。
新思界行业分析人士表示,PHS树脂作为光刻胶关键原材料,市场需求旺盛,行业景气度持续提升。受益于国家政策支持以及研究深入,我国PHS树脂技术成熟度不断提升,已有部分企业具备其量产能力。预计未来一段时间,伴随我国光刻胶市场国产化进程加快以及大尺寸硅片出货量增长,PHS树脂市场空间将得到进一步扩展。
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