等离子纳秒高压脉冲电源维修HVP-20 P

等离子纳秒高压脉冲电源维修HVP-20 P;HVP-10B;HVP-05;HVP-02等型号均可维修

HVP-20 P(N)用于气体放电与低温等离子体的高性能纳秒高压脉冲电源。

HVP-20P(N)采用专有的marx电路，实现高压脉冲电源参数的便捷可调，包括峰值电压0 – 20 KV （-20 KV）连续可调，脉冲宽度从0 – 1ms可调，以及上升/下降沿可调，很大的拓展了科研人员的研究范围；无论是等离子体放电、材料、分析仪器、生命科学还是物理基础研究能寻觅到HVP-20的应用。

 

高压脉冲电源维修主要参数：

输出电压: 0 to +20 KV（-20 KV）连续可调

输出波形: 方波、三角波

脉冲顶宽： 0 – 1 ms 连续可调

上升沿/下降沿（@50 pF）： 50 – 500 ns， 10 ns 步进连续可调

高重频：(100 pF 负载):

a) 5 KHz, 20 KV

b) 9 KHz, 15 KV

c) 20 KHz, 10 KV

d) 100 KHz, 5 KV

过冲: < 5%

触发: 内部触发、以及外部触发(> 50 ns 脉宽, and < 100 KHz重频)

机械尺寸: 610 * 180 * 485 mm

NiCr靶使用直流及HiPIMS晶体结构对比：以HiPIMS高能脉冲为例，相较于直流电源，离化率更高，沉积的薄膜附着力更好，从上图可以看出，直流电源沉积出的为柱状结构，而HiPIMS电源沉积出的为玻璃状结构，膜层更致密。